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Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies / edited by Yves Pauleau.
Tipo de material:
TextoSeries NATO science series. Series II, Mathematics, physics, and chemistry ; 55 | NATO science series. Series II, Mathematics, physics, and chemistry ; 55Detalles de publicación: Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic, 2002, ©2002.Descripción: xiii, 363 páginas : ilustraciones ; 25 cmTipo de contenido: - texto
- sin medio
- volumen
- 1402005253
- TA 418.9.T45 C44.2002
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura topográfica | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Libros | Biblioteca Francisco Xavier Clavigero Acervo | Acervo General | TA 418.9.T45 C44.2002 (Navegar estantería(Abre debajo)) | ej. 1 | Disponible | UIA093527 |
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Incluye referencias bibliográficas e índice.
