TY  - BOOK
AU  - Chernow, Fred
ED  - International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Material
TI  - antation in semiconductors,
SN  - 0-306-36256-2
AV  - TK 7871.85 I5762.1976
PY  - 1977///
CY  - New York
PB  - Plenum
KW  - Iones
KW  - Implantación -
KW  - Congresos
KW  - Semiconductores, Efecto de la radiación sobre -
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
ER  -