TY  - BOOK
AU  - Lieberman,Michael A
AU  - Lichtenberg,Allan J
TI  - Principles of plasma discharges and materials processing
SN  - 0471720011 (hardcover)
AV  - QC 718.5.D9 L54.2005
PY  - 2005///
CY  - Hoboken, N.J.
PB  - Wiley-Interscience
KW  - Plasma dynamics
KW  - Plasma dinámica del (Física)
KW  - Thin films
KW  - Surfaces
KW  - Películas delgadas
KW  - Superficies
KW  - Plasma etching
KW  - Plasma -
KW  - Erosión selectiva
KW  - Plasma chemistry
KW  - Industrial applications
KW  - Química del plasma -
KW  - Aplicaciones industriales
N1  - Incluye referencias bibliográficas (p. 735-748) e índice
ER  -