TY  - BOOK
AU  - Ohring,Milton
TI  - Materials science of thin films: deposition and structure 
SN  - 0125249756
AV  - TA 418.9.T45 O47.2002
PY  - 2002///
CY  - San Diego, Calif.
PB  - Academic Press
KW  - Thin films
KW  - Películas delgadas
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índices
ER  -