TY  - BOOK
AU  - Wasa,Kiyotaka
AU  - Kanno,Isaku
AU  - Kotera,Hidetoshi
TI  - Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS 
SN  - 9781437734836
AV  - TS 695 H36.2012
PY  - 2012///,
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier, William Andrew
KW  - Cathode sputtering (Plating process)
KW  - Handbooks, manuals, etc
KW  - Pulverización catódica (Procesos de recubrimiento)
KW  - Manuales, etc
KW  - Thin films
KW  - Películas delgadas
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
ER  -