TY  - BOOK
AU  - Carter, George
AU  - Grant, W. A
TI  - Ion implantation of semiconductors
SN  - 0470151250
AV  - TK 7871.85 C29
PY  - 1976///
CY  - New York
PB  - Wiley
KW  - Semiconducción por adición de impurezas
KW  - Semiconductores -
KW  - Efectos de radiación
KW  - Iones
KW  - Implantación
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
ER  -