TY  - BOOK
AU  - Milek, John Theophil
TI  - Silicon nitride for microelectric applications
AV  - QD 181.S6 M5
PY  - 1971///
CY  - New York
PB  - Plenium
KW  - Silicones -
KW  - Propiedades físicas
N1  - Incluye bibliografía; Contenido: v.1. Preparation and properties -- v.2. Applications
ER  -