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Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera.

Colaborador(es): Tipo de material: TextoTextoEditor: Amsterdam : Elsevier ; William Andrew, 2012Fecha de copyright: ©2012Edición: Second editionDescripción: xii, 644 páginas : ilustraciones, gráficas, tablas ; 24 cmTipo de contenido:
  • texto
Tipo de medio:
  • sin medio
Tipo de soporte:
  • volumen
ISBN:
  • 9781437734836
  • 1437734839
Tema(s): Clasificación LoC:
  • TS 695 H36.2012
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Existencias
Tipo de ítem Biblioteca actual Colección Signatura topográfica Copia número Estado Fecha de vencimiento Código de barras
Libros Biblioteca Francisco Xavier Clavigero Acervo Acervo General TS 695 H36.2012 (Navegar estantería(Abre debajo)) ej. 1 Disponible UIA129220

Incluye referencias bibliográficas e índice.