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Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera.
Tipo de material: TextoEditor: Amsterdam : Elsevier ; William Andrew, 2012Fecha de copyright: ©2012Edición: Second editionDescripción: xii, 644 páginas : ilustraciones, gráficas, tablas ; 24 cmTipo de contenido:- texto
- sin medio
- volumen
- 9781437734836
- 1437734839
- TS 695 H36.2012
Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura topográfica | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | |
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Libros | Biblioteca Francisco Xavier Clavigero Acervo | Acervo General | TS 695 H36.2012 (Navegar estantería(Abre debajo)) | ej. 1 | Disponible | UIA129220 |
Incluye referencias bibliográficas e índice.