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040 _aUIASF
_cUIASF
041 0 _aENG
050 4 _aTK 7871.85
_bI5762.1976
111 2 0 _aInternational Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Material
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300 _axiv, 754 p. :
_bil., fotos, gráfs., tablas;
_c26 cm
504 _aIncluye referencias bibliográficas e índice.
650 0 _aIones.
_xImplantación -
_xCongresos.
650 0 _aSemiconductores, Efecto de la radiación sobre -
_xCongresos
700 1 _aChernow, Fred
905 _a01
942 1 _cNEWBFXC1
999 _c104277
_d104277
980 _851
_gRonald RUIZ